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氨氣多應(yīng)用于晶圓清洗、在CVD過程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜。液氨廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、冶金工業(yè)，以及需要保護(hù)氣氛的其他工業(yè)和科學(xué)研究中。
高純氨氣的應(yīng)用：
合成氨氣用于制造氮肥等化工原料
工業(yè)氨氣用于氨分解制氮?dú)浠旌蠚怏w
液氨用于電廠等工廠氨制冷系統(tǒng)的制冷劑（R717）
液氨用于有機(jī)合成
高純氨氣用于LED電子行業(yè)的氮源
高純氨氣跟硅烷、高純氬氣用于薄膜太陽能電池制造
高純氨氣注意事項(xiàng)
高純氨氣是強(qiáng)腐蝕性有毒物質(zhì)，對皮膚和眼睛有強(qiáng)烈腐蝕作用，產(chǎn)生嚴(yán)重疼痛性灼傷。高純氨蒸氣強(qiáng)烈刺激呼吸道粘膜和眼睛，對呼吸有窒息作用。受高純氨損傷的皮膚應(yīng)立即用清水沖洗，然后以3%～5%的硼酸、乙酸或檸檬酸溶液濕敷。嚴(yán)重時應(yīng)立即請醫(yī)生處理。
高純氨氣吸入人體，少部分為二氧化碳說中和，余下的進(jìn)入血液，主要與血紅蛋白結(jié)合，破壞血液運(yùn)氧功能。短期內(nèi)吸入大量氨氣后會出現(xiàn)流淚、咽痛、咳嗽、胸悶、呼吸困難、頭暈、嘔吐、乏力等。若吸入的高純氨過多，導(dǎo)致血液中氨濃度過高，就會通過三叉神經(jīng)末梢的反射作用而引起心臟的停搏和呼吸停止，危及生命。
使用高純氨氣前，應(yīng)給氨氣管道進(jìn)行氮?dú)庠噳?、氦氣保壓及肥皂水試漏，確保氨氣管道不泄露。工作環(huán)境保持通風(fēng)。需要有2人同時操作，以應(yīng)對突發(fā)狀況。
氨氣鋼瓶瓶頸上有鋼瓶檢驗(yàn)時間，不符合要求的鋼瓶應(yīng)委托譜源氣體等經(jīng)銷商到有資質(zhì)的壓力容器檢驗(yàn)單位進(jìn)行檢驗(yàn)。嚴(yán)禁使用過去鋼瓶。
